Màng điện cực trong suốt SnO₂:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC phản ứng trên đế thủy tinh. Vật liệu bia là hợp kim Sn (tinh khiết 99,5%) pha Sb (5% khối lượng Sb). Quá trình tạo màng được thực hiện trong hỗn hợp khí Ar (tinh khiết 99,99%) và O₂ (tinh khiết 99,999%). Hệ chân không tạo màng có thể đạt đến áp suất ban đầu khoảng 10^-5torr. Nhiệt độ đế trong quá trình tạo màng được giữ ở các giá trị ổn định trong khoảng từ nhiệt độ phòng đến 450 ⁰C. Sự phụ thuộc của kích thước hạt tinh thể và tính dẫn diện của màng vào nhiệt độ đế cũng được khảo sát.