Vũ Thị Hạnh Thu, Đinh Công Trường, Nguyễn Hữu Chí, Lê Văn Hiếu, Huỳnh Thành Đạt, Phạm Kim Ngọc, Lê Đình Minh Trí

Những kết quả nghiên cứu về màng TiO2-xNx được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC không cân bằng cho thấy có khả năng quang xúc tác dưới ánh sáng khả kiến. Đặc trưng của màng được cho bởi phổ X-ray, phổ UV-vis. Nồng độ nitơ trong màng được xác định bằng phương pháp EDX. Tính quang xúc tác của màng được đo bằng khả năng phân hủy Methylene Blue hay MB (C16H18ClN3S.3H2O = 373,5). Kết quả cho thấy giảm độ rộng vùng cấm khi tăng nồng độ pha tạp nitơ do sự liên kết với obital N 2p trong màng TiO2-xNx. Công trình đồng thời đưa ra một cơ chế mới về sự pha tạp nitơ trong màng tinh thể anatase TiO2 để thành lập màng TiO2-xNx, điều này khác biệt với các cơ chế pha tạp trước đây [1,8]. Ngòai ra, màng thu được tối ưu ở điều kiện chế tạo: áp suất 13mtorr, công suất 240W, độ dày màng từ 600nm đến 700nm và tỷ lệ khí N2/O2 = 4 –5,5.